基于微机械开关结构的电化学传感器测试分析研(3)

测试中，该微电化学流动池传感器受到电解池中试样液体的流动性、扩散性的影响较大，导致其响应速度、灵敏度等难以有效测出，其透气膜与硅基板之间的微空腔和小液结的制成过程微控制工艺对其最终制成结果影响较大，且试样进出口的连接方式也影响到其灵敏度和采集效率。即该元件在当前制备工艺下，属于较高精尖的元件实现模式，但随着硅基微机械开关系统的加工技术提升，未来高集成度的类似微电化学流动池传感器的元件制备并不难实现。

3 总结

文中分析的诸多微机械开关传感器，多用于生物化学的电化学信号采集，因为生物酶技术与硅基微机械加工技术的结合是当前相关文献的研究重点。因为当前硅基浅表加工技术已经进入到了7～14nm层面，而硅基微机械加工尚处于微米层面，所以，敏感元件短期内从微米级硅基加工发展到纳米级加工工艺，可以预见。随着元件尺寸的缩小，其反应速度更快、样品量更少、灵敏度更高且人体植入监测也更容易操作。同时，石英晶体谐振微天平传感器（QCM）也会随着硅基微结构加工技术的提升为逐渐发展起来，结合了电化学石英晶体微天平（EQCM）可以融合成震荡电路中，可以作为恒电势仪器或者恒电流仪器提供电化学信号。综上所述，微机械加工技术近年来发展迅猛，属于一种跨学科且应用场景极为丰富的创新研究范畴。现有成果中已经对于液相或者气相的气体监测表现出极强的电化学适应性，且实现了诸多应用场景。在新的研究领域，以及更多交叉学科的支持下，实现对硅基板微加工技术的更深度挖掘。

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文章来源：《测试技术学报》 网址: http://www.csjsxbzz.cn/qikandaodu/2021/0629/1121.html